空气过滤器技术资料
AMC去除
对微电子制造业来说，空气中危害生产工艺和产品并因此引起成品率降低的化学物质，称为“分子级污染物”（或气载分子污染物），英文简称“AMC”。分子污染物的尺寸比粒子要小得多，相差几个数量级，高效过滤器HEPA或者超高效过滤器ULPA根本无法去除AMC。
多年的理论和实践证明，化学过滤是低浓度气体污染物*为经济有效的去除方法，几乎可以去除所有的气体污染物，在工业排风、溶剂回收等高浓度场合也在大量使用，是一项安全、可靠、成熟的技术。
什么是AMC
危害生产工艺并因此导致成品率降低的空气中的分子态化学物质，称为“分子级污染物”（或气载分子污染物），英文简称“AMC”。 AMC包括空气中的多种有害气体和金属离子。国际半导体技术与材料协会（SEMI）根据AMC的化学性质以及对生产工艺的危害，对其分为四类：酸性(MA)﹑ 碱性(MB), 可凝性(MC)和掺杂性(MD)。（1）酸性AMC ：能够接受电子（受主）的化学腐蚀性气相物质。如氟化氢（HF），二氧化硫（SO2）等。（2）碱性AMC：能够施于电子（施主）的化学腐蚀性气相物质。如氨气（NH3），六甲基二硅醚（HMDSO）等。（3）可凝性AMC：常温常压下，能够在干净表面（如硅片）凝结的气相物质。如硅烷，二丁基甲酚（BHT）,大分子碳氢化合物等。（4）掺杂性AMC：能够改变半导体材料导电性的化学物质。如硼（B）,磷(P)等。HEPA高效过滤器和ULPA超高效过滤器
HEPA 是英语high efficiency particle air filter的缩写形式，ULPA是英语 ultra low penetration air filter的缩写形式。
根据EN1822 分级，HEPA分为五个等级，即H10﹑H11﹑H12﹑H13和H14；ULPA分为三个等级，即U15﹑H16和H17。HEPA和ULPA过滤器是洁净室的心脏，所以要保证洁净室的洁净度，要对过滤器进行逐台扫描检测，下表是不同等级过滤器对效率的*低要求。例如H13对MPPS的*低效率为99.95%，一般记作：效率 99.95% at MPPS, 这与“效率 99.95% at 0.12 ”或“效率 99.95% at 0.3 ”完全不同，因为0.12 或0.3 不一定是该过滤器的*易穿透粒径，对于HEPA 派克滤芯和ULPA超高效过滤器，一定要知道该过滤器的“*易穿透粒径MPPS”是多少。
什么是MPPS
MPPS 是英文most penetrating particle size 的缩写，是*易穿透粒径的意思，即*低效率粒径。换句话说，高效过滤器在某一粒径处的效率存在*低点。
很多人会误认为，灰尘粒子越小，越不容易去除，其实不然。过滤器去除粒子的机理，主要包括扩散﹑拦截﹑惯性和筛效应。如图所示，四种机理综合效应的结果对某一粒径的粒子去除效率*低，这一粒径通常在0.1-0.2 ,但是该粒径究竟是0.11 ﹑0.13 ﹑0.15 还是其它数值，会因过滤材料或过滤器结构而不同。因此对于高效过滤器HEPA或超高效过滤器ULPA而言，一定要供应商告诉您MPPS效率是多少，这样就可以保证过滤器对其它粒径的效率肯定比MPPS效率高！
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